四探針半導(dǎo)電阻測(cè)試儀
一、概述
BEST-300C型材料電導(dǎo)率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試試導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭和測(cè)試臺(tái)等三部分組成。
主機(jī)主要由數(shù)控恒流源,高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動(dòng)/手動(dòng)量程可選;電阻率、方阻、電阻測(cè)試類別快捷切換:儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入,簡(jiǎn)便可靠;具有零位、滿度自校功能;測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀采用可充電鋰電池供電,適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用!
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配探頭,也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
儀器具有測(cè)量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
二、技術(shù)參數(shù)
1. 測(cè)量范圍、分辨率(括號(hào)內(nèi)為拓展量程,可定制)
電 阻:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)
電 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω-cm
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)
方塊電阻:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×103 Ω/□
(5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×103 Ω/□)
2. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)
直 徑: SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長(zhǎng)(高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
3. 量程劃分及誤差等級(jí)
4. 數(shù)字電壓表:
⑴量程: 20.00mV
⑵誤差:±0.2%FSB±2LSB
⑶大分辨力:1.0µV
顯示: 4位數(shù)字顯示,小數(shù)點(diǎn)自動(dòng)顯示
5. 數(shù)控恒流源
⑴電流輸出:直流電流0.1µA~1.0A,系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整。
⑵誤差:±0.2%FSB±2LSB
6. 四探針測(cè)試探頭:
有選配的型號(hào)確定,詳見《不同半導(dǎo)體材料電阻率/方阻測(cè)試的四探針探頭和測(cè)試臺(tái)選配方法》
7. 電源:
功 耗:< 15W,輸入:220V±10% 50Hz±2%
8. 本儀器工作條件為:
溫 度: 0-40℃
相對(duì)濕度: ≥60%
工作室內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾,不與高頻設(shè)備共用電源。
9. 外形尺寸:
主機(jī) 245mm(長(zhǎng))×220 mm(寬)×95mm(高)
三、工作原理
*****電阻率與方阻概念******:
電阻率:當(dāng)某種材料截成正方體時(shí),平行對(duì)面間的電阻值只與材料的類別有關(guān),而與正方形邊長(zhǎng)無(wú)關(guān),這種單位體積的阻值可反映材料的導(dǎo)電特性,稱為電阻率(體電阻率),記為:ρ,標(biāo)準(zhǔn)單位:Ω-m,常用單位Ω-cm.
方塊電阻:薄膜類導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料截成薄層正方形時(shí),平行對(duì)邊間的電阻值只與材料的類別(電阻率)和厚度有關(guān),而與正方形邊長(zhǎng)無(wú)關(guān),這種單位面積的對(duì)邊間的阻值可反映薄膜的導(dǎo)電特性和厚度信息,稱為方塊電阻,簡(jiǎn)稱方阻。記為:R□,標(biāo)準(zhǔn)單位:Ω/□
3.1. 測(cè)試原理:直流四探針?lè)y(cè)試原理簡(jiǎn)介如下:
[1]體電阻率測(cè)量:
當(dāng)1、2、3、4四根金屬探針排成一直線時(shí),并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時(shí),在1、4兩根探針間通過(guò)電流I,則在2、3探針間產(chǎn)生電位差V。
(a)塊狀或棒狀樣品體電阻率測(cè)量:
由于塊狀或棒狀樣品外形尺寸遠(yuǎn)大于探針間距,符合半無(wú)窮大的邊界條件,電阻
率值可以直接由(3—1)式求出。
(b)薄片電阻率測(cè)量 (以S1=S2=S3=1mm時(shí),C≈0.628 cm為例)。
薄片樣品因?yàn)槠浜穸扰c探針間距相近,不符合半無(wú)窮大邊界條件,測(cè)量時(shí)要附加樣品的厚度、形狀和測(cè)量位置的修正系數(shù)。其電阻率值可由下面公式得出:
[3] 特薄膜或薄層的電阻率測(cè)量
由于薄片或膜,查表厚度修正系數(shù)誤差較大,可按式(3-5)和(3-6),忽略形狀修正可得薄膜電阻率ρ= R□*W, R□單位Ω/□, w單位cm , ρ單位Ω-cm (3-7)
四、使用方法
BEST-300C測(cè)試儀能夠測(cè)量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R口以及體電阻R,測(cè)量時(shí)需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。
本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻R口以及體電阻R測(cè)試的基本修正系數(shù)設(shè)定,還提供了產(chǎn)品厚度G、外形和測(cè)試位置的修正系數(shù)D設(shè)定,極大的提高了測(cè)試精度。測(cè)試類別的快捷選擇方式,方便了用戶同時(shí)測(cè)試多個(gè)參數(shù),提高測(cè)試效率。
4.1 操作概述:
(1)測(cè)試準(zhǔn)備:
對(duì)于電阻器類樣品,用四端子測(cè)試線按照?qǐng)D5-1連接好樣品,對(duì)于半導(dǎo)體材料,測(cè)試前表面應(yīng)進(jìn)行必要的處理。如圖5-2,對(duì)于硅材料要進(jìn)行噴砂或清潔處理,對(duì)于薄膜類的要保持表面清潔,必要的要進(jìn)行清潔。樣品放在平整的臺(tái)面上。將測(cè)試探頭的插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來(lái),連接好探頭和主機(jī)。將電源開關(guān)置于開啟位置,數(shù)字顯示亮。儀器要預(yù)熱15分鐘以上,增加讀數(shù)穩(wěn)定性。
開機(jī)默認(rèn)的狀態(tài)是測(cè)量模式,可按“模式”鍵“”切換到設(shè)定模式。儀器只有在設(shè)定模式下才接受相關(guān)參數(shù)設(shè)定功能。開機(jī)默認(rèn)設(shè)定類別為電阻測(cè)試修正系數(shù),可以根據(jù)需要切換設(shè)定系數(shù)類別和修改當(dāng)前默認(rèn)參數(shù)值。
在設(shè)定模式下儀器要設(shè)定的參數(shù)類別,由 “類別選擇”鍵來(lái)選擇,由顯示窗口左位紅色數(shù)碼管顯示;參數(shù)值由顯示窗口右四位數(shù)碼配合顯示窗右側(cè)單位指示來(lái)顯示;參數(shù)大小由數(shù)碼鍵盤輸入。具體參數(shù)類別、符號(hào)、含義、取值范圍
(3)測(cè)量數(shù)據(jù)
在設(shè)定模式下(設(shè)定完畢,保存好數(shù)據(jù)后),選擇測(cè)量類別(電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R口或體電阻R中三選一,切換儀器到“測(cè)量”模式,窗口左側(cè)“測(cè)量”模式燈亮。電阻測(cè)量,注意良好接觸,電壓測(cè)試端在內(nèi)側(cè);半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試,將探針與樣品良好接觸,注意壓力要適中;由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量值。
注意!測(cè)量狀態(tài)中,電流量程默認(rèn)為自動(dòng)方式,也可調(diào)整為手動(dòng)方式,手動(dòng)方式下,電流量程適合的,儀器會(huì)穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù),電流量程不適合的會(huì)給出超量程或欠量程閃爍提示,對(duì)于超量程,說(shuō)明電流過(guò)大,要調(diào)到較小電流檔;對(duì)于欠量程,說(shuō)明電流過(guò)小,要調(diào)到較大電流檔。
4.2.設(shè)定修正系數(shù)注意事項(xiàng):參照表5.1和附表1和附表2
(1) 電阻測(cè)量:
設(shè)定R=1.000。,其他可以忽略。只讀結(jié)果。
(2) 棒狀、塊狀樣品電阻率測(cè)量,符合半無(wú)窮大的邊界條件:
設(shè)定電阻率基本系數(shù)C,參照表5.1, 厚度修正G=1.000,形狀位置修正D=1.000,只讀結(jié)果。
(3) 薄片電阻率測(cè)量:
當(dāng)薄片厚度與針距比W/S>0.5時(shí), 設(shè)定電阻率基本系數(shù)C,參照表5.1,厚度修正G<1.000,形狀位置修正D<1.000,具體值G(W/S)和D(d/S)要查附表1和附表2,只讀結(jié)果。
當(dāng)薄片厚度與針距比W/S<0.5時(shí),可以先測(cè)方阻,再人工計(jì)算厚度和位置形狀修正。
電阻率ρ=R口×W×D(d/S),式中W:樣品厚度(cm), D(d/S)查附表2。
(4) 方塊電阻測(cè)量:
設(shè)定電阻率基本系數(shù)□:,參照表5.1,厚度修正G忽略,形狀位置修正D<1.000, D(d/S)要查附表2,只讀結(jié)果。
(3)數(shù)據(jù)輸入規(guī)則說(shuō)明及示例
(a) 修正系數(shù)
在半導(dǎo)體類電阻率或方阻測(cè)試中,如果修正系數(shù)計(jì)算值遠(yuǎn)小于1,為了顯示讀取更多有效數(shù)字,數(shù)據(jù)輸入可采用準(zhǔn)科學(xué)記數(shù)法,即有效數(shù)字取0.100≤X≤1.000,指數(shù)(單位)取值10-3~103。
修正系數(shù)設(shè)定示例:注意X為 ρ,口,R,G,D,分類界限值中的任意一個(gè)。