四探針電阻測試儀可以選擇那些探頭?
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO 膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配探頭, 也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
儀器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。
BEST-300C 型材料電導(dǎo)率測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試試導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。
主機(jī)主要由數(shù)控恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動/手動量程可選;電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換:儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入,簡便可靠;具有零位、滿度自校功能;測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電鋰電池供電,適合手持式變動場合操作使用!
數(shù)字電壓表:
⑴量程: 20.00mV
⑵誤差:±0.2%FSB±2LSB
⑶*分辨力:1.0µV
顯示: 4 位數(shù)字顯示,小數(shù)點(diǎn)自動顯示
數(shù)控恒流源
⑴電流輸出:直流電流 0.1µA~1.0A,系統(tǒng)自動調(diào)整。
⑵誤差:±0.2%FSB±2LSB
四探針測試探頭:
有選配的型號確定,詳見《不同半導(dǎo)體材料電阻率/方阻測試的四探針探頭和測試臺選配方
法》
電源:
功 耗:< 15W,輸入:220V±10% 50Hz±2%
本儀器工作條件為: 溫 度: 0-40℃ 相對濕度: ≥60%
工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場干擾,不與高頻設(shè)備共用電源。
外形尺寸:主機(jī) 245mm(長)×220 mm(寬)×95mm(高)
BEST-300C 測試儀能夠測量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R 口
以及體電阻 R,測量時需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。
本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測試的基本修正系數(shù)設(shè)定, 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定,極大的提高了測試精度。測試類別的快捷選擇方式,方便了用戶同時測試多個參數(shù),提高測試效率。
對于電阻器類樣品,用四端子測試線按照圖 5-1 連接好樣品,對于半導(dǎo)體材料,測試前表面應(yīng)進(jìn)行必要的處理。如圖 5-2,對于硅材料要進(jìn)行噴砂或清潔處理,對于薄膜類的要保持表面清潔,必要的要進(jìn)行清潔。樣品放在平整的臺面上。將測試探頭的插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來,連接好探頭和主機(jī)。將電源開關(guān)置于開啟位置,數(shù)字顯示亮。儀器預(yù)熱 15 分鐘以上,增加讀數(shù)穩(wěn)定性。
在設(shè)定模式下(設(shè)定完畢,保存好數(shù)據(jù)后),選擇測量類別(電阻率ρ、方塊電阻
(薄片電阻率)R 口或體電阻 R 中三選一,切換儀器到“測量”模式,窗口左側(cè)“測量” 模式燈亮。電阻測量,注意良好接觸,電壓測試端在內(nèi)側(cè);半導(dǎo)體參數(shù)測試,將探針與樣品良好接觸,注意壓力要適中;由數(shù)字顯示窗直接讀出測量值。
注意!測量狀態(tài)中,電流量程默認(rèn)為自動方式,也可調(diào)整為手動方式,手動方式下, 電流量程適合的,儀器會穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù),電流量程不適合的會給出超量程或欠量程閃爍提示,對于超量程,說明電流過大,要調(diào)到較小電流檔;對于欠量程,說明電流過小, 要調(diào)到較大電流檔。