雙電四探針測(cè)試儀
產(chǎn)品概述
雙電四探針測(cè)試儀采用四探針組合雙電測(cè)量方法,液晶顯示,自動(dòng)測(cè)量,自動(dòng)量程,自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出;選配:PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線(xiàn)或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.
1. 便于查看的顯示/直觀的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學(xué),直觀使用;
2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單,方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果;多種參數(shù)同時(shí)顯示。
3. 精度高:電阻基本準(zhǔn)確度: 0.05%;方阻基本準(zhǔn)確度:3%;電阻率基本準(zhǔn)確度:3%
4. 整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差:≤±3%;整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%
5. 四位半顯示讀數(shù);八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試;
6. 測(cè)量范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;
7. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差
8. 恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件,即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上,后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí),恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。
9. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試;也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。
10. 校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。
11. 厚度可預(yù)設(shè),自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率。
12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。
13. 雙電測(cè)測(cè)試模式,測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.
14. 具備溫度補(bǔ)償功能,修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。
15. 比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。
3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標(biāo)志顯示;也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。
16. 測(cè)試模式:可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。
17. 豐富的接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤(pán)可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)
雙電四探針測(cè)試儀恒流源電 流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV分辨力:10μV;輸入阻抗:>1000MΩ;精度:±0.1% ;顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;概述:本品為解決四探針?lè)y(cè)試超低阻材料方阻及電阻率,最小可以測(cè)試到1uΩ方阻值,是目前同行業(yè)中能測(cè)量到的最小值,采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén),是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類(lèi)測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測(cè)試治具可以滿(mǎn)足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).運(yùn)用直線(xiàn)或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線(xiàn)或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
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