工業(yè)直流式探針測(cè)試儀
產(chǎn)品概述
工業(yè)直流式探針測(cè)試儀簡(jiǎn)介:
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
BEST-300C 型材料電導(dǎo)率測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試試導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭和測(cè)試臺(tái)等三部分組成。
主機(jī)主要由數(shù)控恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動(dòng)/手動(dòng)量程可選;電阻率、方阻、電阻測(cè)試類別快捷切換:儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入,簡(jiǎn)便可靠;具有零位、滿度自校功能;測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀采用可充電鋰電池供電,適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用!
工業(yè)直流式探針測(cè)試儀參數(shù)特點(diǎn):
1. 便于查看的顯示/直觀的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學(xué),直觀使用;
2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單,方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果;多種參數(shù)同時(shí)顯示。
3. 精度高:電阻基本準(zhǔn)確度: 0.05%;方阻基本準(zhǔn)確度:3%;電阻率基本準(zhǔn)確度:3%
4. 整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差:≤±3%;整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%
5. 四位半顯示讀數(shù);八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試;
6. 測(cè)量范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;
7. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差
8. 恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件,即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上,后開恒流源開關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無影響時(shí),恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。
9. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試;也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。
10. 校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。
11. 厚度可預(yù)設(shè),自動(dòng)修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率。
12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。
13. 雙電測(cè)測(cè)試模式,測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.
14. 具備溫度補(bǔ)償功能,修正被測(cè)材料溫漂帶來的測(cè)試結(jié)果偏差。
15. 比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。
3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標(biāo)志顯示;也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。
16. 測(cè)試模式:可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。
17. 豐富的接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)
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