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四探針碳素電阻測(cè)試儀

型 號(hào)BEST-300C

更新時(shí)間2024-11-24

廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家

報(bào)價(jià)

產(chǎn)品描述:四探針碳素電阻測(cè)試儀適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

產(chǎn)品概述

四探針碳素電阻測(cè)試儀參數(shù):

  1. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)

直 徑:圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限

方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 180mm×180mm,手持方式不限. 長(zhǎng)(高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 手持方式不限.

BEST-300C 測(cè)試儀能夠測(cè)量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R 口

以及體電阻 R,測(cè)量時(shí)需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。

本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測(cè)試的基本修正系數(shù)設(shè)定, 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測(cè)試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定,極大的提高了測(cè)試精度。測(cè)試類(lèi)別的快捷選擇方式,方便了用戶(hù)同時(shí)測(cè)試多個(gè)參數(shù),提高測(cè)試效率。整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差:≤±3%;整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%四位半顯示讀數(shù);八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試;范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件,即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上,后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí),恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)??膳浜隙喾N探頭進(jìn)行測(cè)試;也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。厚度可預(yù)設(shè),自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。雙電測(cè)測(cè)試模式,測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.具備溫度補(bǔ)償功能,修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標(biāo)志顯示;也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。測(cè)試模式:可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤(pán)可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)軟件功能(選配):軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù);可供用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

在設(shè)定模式下(設(shè)定完畢,保存好數(shù)據(jù)后),選擇測(cè)量類(lèi)別(電阻率ρ、方塊電阻

(薄片電阻率)R 口或體電阻 R 中三選一,切換儀器到“測(cè)量"模式,窗口左側(cè)“測(cè)量" 模式燈亮。電阻測(cè)量,注意良好接觸,電壓測(cè)試端在內(nèi)側(cè);半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試,將探針與樣品良好接觸,注意壓力要適中;由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量值。

注意!測(cè)量狀態(tài)中,電流量程默認(rèn)為自動(dòng)方式,也可調(diào)整為手動(dòng)方式,手動(dòng)方式下, 電流量程適合的,儀器會(huì)穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù),電流量程不適合的會(huì)給出超量程或欠量程閃爍提示,對(duì)于超量程,說(shuō)明電流過(guò)大,要調(diào)到較小電流檔;對(duì)于欠量程,說(shuō)明電流過(guò)小, 要調(diào)到較大電流檔。

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四探針碳素電阻測(cè)試儀操作:

1、測(cè)試溫度23±2℃,相對(duì)濕度65±5%,無(wú)外界電磁場(chǎng)干擾環(huán)境中進(jìn)行。

2、測(cè)試時(shí)對(duì)試樣所加電壓為100V~500V的直流電壓,選擇電壓檔次。

3、將試樣倒入高壓電極內(nèi),使液面剛好和環(huán)電極下綠全部接觸為止。

4、將充分放電后的試樣和電極,按固體(液體)體積及表面電阻率測(cè)試儀要求接線。



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